半導體製程設備集成


說明

 【SMART】是廣運於半導體產業的產品定位概念。
SMART 隱含著 IOT 物聯網的軟體架構,將實體設備的底層資訊,有系統、及有效率的收集起來,以作為設備維修保養、最佳生產排程及預測的決策分析。
S 代表生產的直接材料如 Si、GaAs、Sapphire、Glass、Sic 等;M 代表間接材料 Material如 Quarts、Target、Ceramic 等;A 代表 Access 存取,如 EFEM、Load、Unload,可客製化搭配製程設備,如我們跟台積電合作的 3D 量測設備;Room 代表儲存,如應用在無塵室外的 ASRS自動倉庫 ,以及運用在無塵室內的 Stocker 跟 E-Rack;T 代表運輸,包括 Lifter、Conveyor、OHCV、OHT、RGV、AGV。藉由 SMART 架構的虛實整合,提供智能化及無人化的解決方案。

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